白板光滑如镜,倒映着会议室里一张张呆滞的脸。
陈正宇手持马克笔,神情专注,仿佛整个世界只剩下他和眼前这块白板。
他的手臂挥动,笔尖在白板上留下流畅而精准的线条。
那不是随意的涂鸦,而是一连串复杂到令人头皮发麻的数学符号和物理模型图。
“你们现有的Lpp(激光等离子体)方案,本质上是‘暴力美学’。”
陈正宇的声音不大,却清晰地传入每一个人耳中,他的语速不快,带着一种独特的节奏感,仿佛一位大学教授正在给自己的学生讲课。
“用高功率的二氧化碳激光*,去轰击高速运动的锡滴靶材,强行将锡原子电离成等离子体,再利用等离子体的复合与跃迁,辐射出波长为13.5纳米的EUV光。这个思路,简单粗暴,但效率极低。”
他一边说,一边在白板的左侧,快速画出了当前主流Lpp-EUV光源
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