量产线调试的第十天，凌晨四点的研发中心突然爆发出一阵急促的警报声。正在监控室查看良率数据的林渊猛地站起身，抓起对讲机就冲了出去：“各小组注意！中试车间发生什么情况？重复，中试车间发生什么情况？”对讲机里传来陈涛带着喘息的声音：“林总！刻蚀设备突然停机，真空腔体压力骤升，可能是腔体泄漏了！”
林渊赶到中试车间时，里面已经弥漫着淡淡的臭氧味，几名工程师正穿着防护服围着刻蚀设备紧急排查。陈涛指着设备屏幕上的参数曲线，脸*惨白：“刚才我们正在进行第50批次晶圆的刻蚀，真空度突然从10^-7pa降到10^-3pa，设备自动停机保护。初步判断是腔体的密封垫圈损坏，要是腔体被污染，之前的49批次晶圆可能都报废了。”
“先检测晶圆！”林渊果断下令，“范教授，你带团队检测刚完成刻蚀的晶圆；陈涛，立刻拆解设备检查密封垫圈；苏晴，联系沈阳机床厂，让他们马上送
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